虽然紫外线和氯是对水进行消毒的常规方法，但臭氧在破坏微生物方面同样有效。与传统的消毒方法（如紫外线或氯气）相比，溶解在水中的臭氧有几个好处：例如，它是环保的，在水中的保留时间很短，在比其直接来源更远的地方继续保持活性, 随后是无味的。【设备】【设备】【】【晶圆清洗设备制造】【晶圆清洗设备制造厂家】
图1：臭氧发生器的电极由带有精确蚀刻沟槽的硅片制成
臭氧由于其高氧化电位而在对抗细菌方面非常有效，它可以分解典型细菌的细胞膜。臭氧主要用于饮用水和游泳池消毒，也用于废水消毒。【】【】【兆声清洗设备】【湿法刻蚀设备】【晶圆清洗设备】
电解水直接生产臭氧
臭氧发生器非常紧凑，可以集成到需要定期消毒的系统和设备中。微型臭氧发生器的尺寸一般为2cm3，是具有传感器芯片、电解池、读取传感器信号的电子设备和调节电压和电流的控制电子设备。【KOH腐殖清洗机】【】【RCA清洁设备】
两个电极由离子导电隔膜隔开，当在电极上施加电压时，水会通过电解过程分解。由于电极上覆盖有金刚石层，该过程首先形成羟基自由基，然后发生反应形成臭氧(O3)和氧气(O2)。【】【】【半导体】【】【RCA清洁设备】【马来西亚戈尼干炎装备】
金刚石涂层硅电极
金刚石涂层由硅组成，并具有通过电极延伸的精细蚀刻沟槽，从而在另一侧形成狭窄的狭缝。为了构建小型臭氧发生器，这些电极对以背靠背的方式放置，并在它们之间放置一个隔膜。气体在分离膜的界面处排出，随后允许通过沟槽结构逸出到电极的另一部分，其中水流的湍流确保气体有效溶解和分布。
电导率对应于水的硬度水平：较硬的水转化为较高的电导率，这意味着额外的电流应该流动以获得所需的效果。【】【】【晶圆清洁设备】【】【KOH腐殖清洗机】【全自动晶圆清洗机】
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