产品用途 

适用于 2寸～6寸硅片去胶清洗 

整机构造 

骨架：进口10mmPP板，优质不锈钢骨架，外包3mmPP板防腐； 

外壳：进口10mmPP板； 

安全门：采用透明上下推拉门； 

管路：管路位于下后部，以节省空间，采用英制接口； 

灭火系统：烟热感应CO2自动灭火系统位于工作台面上部； 

排风：根据流体学原理设计位于机台后上部，并配有导流和风量调节装置； 

工作照明：机台上方配照明（与工作区隔离）； 

台面板为优质不锈钢材质（带有漏液孔）； 

DI/N2 GUN：可伸缩的DI水枪和******各2把，分置于工作区两侧； 

人机界面：Touch Screen彩色界面； 

支脚：有滑轮装置和固定装置，可调整高度和锁定； 

三色报警等和蜂鸣器 

控制系统 

PLC可程式控制器（欧姆龙）＋Touch Screen彩色人机界面操作。 

制程参数皆采用可设定、修改； 

操作模式可分为自动/手动/编辑/维修。 

配有独立配电箱，电路区进行功能分块，强电、弱电块，以便于维护； 

具Password功能以避免操作人员误改参数： 

Password-1.启动及可进入自动模式內容。 

Password-2可进入编辑模式修改制程参数。 

Password-3可进入手动模式。