服务热线:180-1289-5988            售前咨询  mx@insist-semi.com  
描述
描述
晶圆清洗设备制造厂家
硅芯清洗机 
  • 硅芯清洗机 
  • 硅芯清洗机 
0 1

硅芯清洗机 

数量
- +

英思特长期致力于半导体等行业干湿制程设备、自动供/排液系统、甩干机等设备的设计、生产、销售及设备的优化。期待与您的合作!

  • 宝贝详情
  • 1.产品用途:适用于2"~8"硅芯清洗 

    2.设备介绍:本设备为柜体式腐蚀机,整台设备均采用进口件. 

    基本材质:箱体材质:德国兹白色聚丙烯(PP) 

    门板材质:德国透明聚氯乙烯(PVC) 

    腐蚀槽材质:德国自然色聚偏二佛乙烯(PVDF) 

    清洗槽材质:德国自然色聚丙烯板(NPP) 

    腐蚀槽配有美国聚四佛乙烯加热器,虹吸上排,传感器 

    清洗槽配有溢流装置和N2鼓泡装置 

    整机外形美观,实用 

    3.设备外形尺寸:2000X1000X1800(mm) 

    4.设备重量:8000Kg(约) 

    5,设备控制方式: PLC结合操作触摸屏控制 

    6.设备动力条件:电源:380VAC+-10%频率 50HZ+-10%,三相五线制 

    整机额定电功率(参考):20KW 

    电气性能:E级,并有良好的接地 

    水工:压力2-3KG/CM3,流量2m3/hr 口径DN25 

    DIW:压力2-3KG/CM3 流量2m3/hr(max),电阻率15MDN25 

    气源压缩空气:0.3~0.5MPa,口径3/8"(配有水分离器) 

    排废:DN50 

    排废酸:DN40 

    排风:DN200 

    环境要求:空气温度5-40°C;相对湿度:80

    图一


    图二


    1.产品用途:适用于2"~8"硅芯清洗 

    2.设备介绍:本设备为柜体式腐蚀机,整台设备均采用进口件. 

    基本材质:箱体材质:德国兹白色聚丙烯(PP) 

    门板材质:德国透明聚氯乙烯(PVC) 

    腐蚀槽材质:德国自然色聚偏二佛乙烯(PVDF) 

    清洗槽材质:德国自然色聚丙烯板(NPP) 

    腐蚀槽配有美国聚四佛乙烯加热器,虹吸上排,传感器 

    清洗槽配有溢流装置和N2鼓泡装置 

    整机外形美观,实用 

    3.设备外形尺寸:2000X1000X1800(mm) 

    4.设备重量:8000Kg(约) 

    5,设备控制方式: PLC结合操作触摸屏控制 

    6.设备动力条件:电源:380VAC+-10%频率 50HZ+-10%,三相五线制 

    整机额定电功率(参考):20KW 

    电气性能:E级,并有良好的接地 

    水工:压力2-3KG/CM3,流量2m3/hr 口径DN25 

    DIW:压力2-3KG/CM3 流量2m3/hr(max),电阻率15MDN25 

    气源压缩空气:0.3~0.5MPa,口径3/8"(配有水分离器) 

    排废:DN50 

    排废酸:DN40 

    排风:DN200 

    环境要求:空气温度5-40°C;相对湿度:80

    图一


    图二